引言

光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等，是製造晶片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形透過光線的曝光印製到矽片上。

光刻機工藝是由矽片處理、塗膠、前烘、曝光、後烘、顯影、堅膜、檢測。其中光刻機的溫度檢測尤為重要光刻膠在顯影后在烘烤硬化堅膜。對刻蝕和離子注入工藝非常關鍵。正膠的堅膜烘培溫度約為120℃到140℃。溫度太高會產生光刻膠流動。因此溫度對於光刻的成功率起著重要的決定性因素。智測推出一款多通道測溫採集儀-光刻機曝光光學系統高精度測溫儀。

智測成功開發了最新一代的多通道熱敏電阻測溫儀將溫度發揮到極致用處，

智慧更多，使用更方便的多通道熱敏電阻測溫儀1611A系列，將測溫採集儀的產品形成不同系列以滿足各種使用者的不同應用。在幾乎沒有降低任何計量效能之上，將高效能延伸到了工業過程環境。

最新的新技術

除了沿用1611A系列上的多通道測溫技術使得1611A測量準確度可達0。5℃之外，它還採用了更新的控制器，在滿足不同通道選擇的控制。並且能對電源電壓進行補償，使採集儀執行時更穩定，不受外界電源波動的干擾。

新的1611A的系列測溫採集儀體積更小，更加便於攜帶到現場使用，其溫度控制的速度更快，功能更多。此外1611A還提供了專用智慧連線件，內建儲存晶片可儲存測量資料。

半導體生產塗膠機高精度測溫模組、半導體生產塗膠機高精度測溫儀、半導體生產塗膠機溫度探頭、半導體生產塗膠機溫度感測器、高階光刻機曝光光學系統高精度測溫模組、

高階光刻機曝光光學系統高精度測溫儀

、高階光刻機曝光光學系統高精度溫度探頭

光刻機曝光光學系統高精度測溫儀

10ms/

每通道的高速採集。

0。02℃

（4線）測量準確度。

6。5

位顯示解析度，實時資料顯示。

3。5

寸液晶屏顯示，操作選單簡單易用。

輸入接線方式：2線、3線、4線可選。

16

通道（2線）或8通道（4線）輸入。

應用RS485，可多臺儀器級聯，擴充套件通道。

DC

端子、DC介面卡或鋰電池供電可選。

測量掃描資料檔案，可儲存在記憶體裡。

測量掃描資料檔案，也可用隨身碟儲存。

LAN

、USB、RS485/RS232、藍芽通訊。

可應用手機端APP，對採集器通道配置。