顯影高溫能氧化嗎

顯影液是一種重要的溼電子化學品，也是半導體、顯示面板、太陽能電池製作過程中關鍵的原材料之一。顯影液質量的優劣，直接影響電子產品的質量，電子行業對顯影液的一般要求是超淨和高純。半導體、顯示面板、太陽能電池等行業發展速度快，屬於國家大力發展的戰略新興行業。顯影液的市場需求會隨著這些行業的快速發展而不斷增長。

一、顯影液的分類

㈠、光刻中所用的顯影液

光刻中所用的顯影液：是溶解由曝光造成的光刻膠的可溶解區域的一種化學溶劑。對於負顯影工藝，顯影液通常是一種有機溶劑，如二甲苯 。對於正顯影工藝，顯影液是一種用水稀釋的強鹼溶液，早期的是氫氧化鉀與水的混合物，但這兩種都包含了可動離子玷汙（MIC）。最普通的是四甲基氫氧化銨（TMAH）。

正膠顯影液：工藝中主要用的顯影液是四甲基氫氧化銨（NTD顯影液是乙酸正丁酯） 。

TMAH水溶液的主要成分是水，佔99%以上。它被廣泛用於光刻工藝中的顯影。不管是I-線、248nm、193nm、193nm浸沒式或是EUV，都是使用TMAH水溶液做顯影液。有時為了避免光刻膠線條的倒塌，還可以在TMAH水溶液中新增很少量的表面活化劑。一般來說，一個Fab生產線只使用一種顯影液，顯影液透過管道輸送到每一個勻膠顯影裝置，又叫做廠務集中供應。

隨著光刻線寬和均勻性的要求越來越高，光刻界也試圖改變現有的TMAH顯影液。光刻膠在顯影液中的溶解行為與光刻膠的靈敏度以及最終圖形的邊緣粗糙度都有關聯。

㈡、攝影中所用的顯影液

攝影中所用的顯影液：指的是洗相片時適用的化學藥劑，主要成分有硫酸、硝酸及苯、甲醇、鹵化銀、硼酸、對苯二酚等。有毒，不可直接接觸肌膚，會嚴重腐蝕。

①顯影液用途

銀鹽膠片顯影用的藥液稱顯影液。用於黑白膠片顯影的顯影液稱黑白顯影液，用於彩色膠片顯影的稱彩色顯影液。

②顯影原理

顯影是指感光材料曝光產生潛影之後，在顯影液中進行一段時間處理，產生可見銀影像的過程。顯影過程是一個氧化還原反應，反應的實質是使銀離子還原為黑色的金屬銀。反應中的還原劑就是顯影液中的顯影劑。顯影作用一般都是在曝光的鹵化銀微晶上進行。這是由於曝光的鹵化銀晶體上形成了顯影中心，顯影中心在顯影的化學反應中是一個催化劑。因此，顯影過程總是從顯影中心開始，直到這個鹵化銀晶體中的銀離子全部被還原為止。

顯影液的濃度是指顯影劑的相對含量，即NaOH、Na2SiO3總含量。市場上銷售的顯影液多是濃縮型液體，使用時需要按比例稀釋，顯影液的濃度多以顯影液的稀釋比來表示。在其他條件不變的前提下，顯影速度與顯影液濃度成正比關係，即顯影液濃度越大，顯影速度越快。 顯影液濃度大，還易有結晶析出。 當顯影液的濃度偏低時，鹼性弱，顯影速度慢，易出現顯影不淨、版面起髒、暗調小白點糊死等現象。

③顯影液的成分

顯影液的主要成分是顯影劑。為了完善效能，通常還加一些其他成分，諸如促進顯影的促進劑，防止顯影劑氧化的保護劑，防灰霧生成的灰霧抑制劑和防灰霧劑等。

透過對各組分不同用量的調配可以得到不同效能的顯影液，如微粒顯影液、高反差顯影液等。

工業上說的顯影劑，是針對半導體晶片而言。系列有顯影劑、光刻膠等。

1、顯影劑

顯影劑是顯影液中必不可少的成分，其作用是使已曝光的鹵化銀還原產生金屬銀。在顯影的化學反應中，顯影劑是還原劑，鹵化銀的氧化劑。

2、促進劑

顯影劑溶解於水所配製的“顯影液”，它沒有其它物質存在時顯影速度極其緩慢，當在該溶液中加入鹼性物質後，顯影速度則明顯加快。

a。硼酸鹽 ：常用的硼酸鹽為硼砂和硼酸鈉。是一種弱促進劑，僅用於微粒顯影液配方。

b。碳酸鹽 ：常用的碳酸鹽是碳酸鈉、碳酸鉀等。呈強鹼性，因而多用於高反差顯影液。

3、保護劑

顯影液在儲存過程中與空氣接觸，顯影劑很容易被氧化，造成無謂的消耗，顯影劑的濃度減小，導致顯影能力下降。為此常加一些如：亞硫酸鈉、亞硫酸氫鈉、焦亞硫酸鈉等保護劑，其中常用的是亞硫酸鈉。

4、抑制劑

抑制劑又稱防灰霧劑，在顯影液中可以抑制灰霧的產生。常用的抑制劑有溴化鉀、溴化鈉等。

二、顯影液檢測專案

配方檢測，濃度檢測，碳酸鈉含量檢測，主要成分檢測，電導率檢測等。

三、顯影液檢測標準

GB/T 37403-2019薄膜電晶體液晶顯示器（TFT-LCD）用四甲基氫氧化銨顯影液

SJ/T 11508-2015積體電路用正膠顯影液

SJ/T 11511-2015液晶顯示器用 正膠顯影液

SJ/T 11634-2016電子工業用顯影液中甲醇的測定

SJ/T 11635-2016電子工業用顯影液中碳酸根離子的測定

SJ/T 11636-2016電子工業用顯影液中四甲基氫氧化銨的測定