表面粗糙度儀有很多種，具體選擇要根據工件的尺寸大小、材質、粗糙度值來選擇。

一般來說粗糙度儀分為接觸式和非接觸式兩種，接觸式又有臺式和行動式兩種，接觸式輪廓儀在機械製造行業應用最常見；非接觸式主要是白光干涉儀，白光干涉儀精度最高，可以達到0。1奈米，主要用於超精密表面粗糙度測量，在半導體行業、3C行業、光學以及高等院校應用較多。

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臺式粗糙度儀

SJ570臺式粗糙度儀是一款可大量程全自動的粗糙度測量儀器；採用進口高精度電感測量系統、高精度研磨導軌、高效能非接觸直線電機、高效能計算機控制系統技術，實現對各種工件表面粗糙度進行測量和分析。透過高精度研磨導軌、高效能直線電機保證測量的高穩定性及直線度，採用進口高精度電感測量系統建立工件表面的二維座標，描繪出真實的原始輪廓，再按照標準對工件表面的粗糙度進行各種引數分析。

主要技術指標：

測量範圍：X軸200mm，Z1軸800m

直線度誤差： 0。15m/20mm，0。5m/200mm

示值誤差：±5%

解析度：Z1軸0。001m

測量速度：0。5 mm/s 、0。1 mm/s、0。05mm/S可調

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行動式粗糙度儀

SJ325

行動式粗糙度儀

廣泛應用於機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金等行業。

適用於軸類和殼體類零件；

適用於大型機械和大型工件；

適用於小型研磨件；

適用於產線或直接在機器上測量；

適用於各種工件表面的快速檢測。

SJ325手持式粗糙度儀主要技術指標：

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白光干涉儀

SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用於半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從奈米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D引數作為評價標準。

SuperView W1白光干涉儀主要技術指標：