近日，西安晟光矽研半導體科技有限公司（簡稱：晟光矽研）完成數千萬人民幣Pre-A輪融資，投資方為中芯聚源、超越摩爾、軟銀中國、七匹狼、中科長光等，中孚資本擔任本輪融資財務顧問。資金將主要用於加大研發投入，定型滾圓、劃片等國產化裝置，最佳化切片技術等。

晟光矽研成立於2021年2月，專注於第三代半導體材料的最佳化加工及工藝定型，圍繞微射流鐳射先進技術進行自主研發和創新。晟光矽研擁有半導體加工裝置領域核心技術專利9項，其掌握的微射流鐳射切割技術，已經完成6英寸碳化矽晶錠的切割，可實現碳化矽單晶襯底製備。

晟光矽研是航天基地科技成果就地轉化專案，技術團隊包括來自西安電子科技大學、中國工程物理研究院、山東大學、西北工業大學、yole等相關行業高校和研究機構的專家。

晟光矽研發明瞭微射流鐳射切割技術，該技術一次切割完成的晶片表面形貌已接近CMP處理水平，目前已成功完成6英寸碳化矽晶錠的滾圓、切片及劃片，同時根據客戶需求拓展技術工藝，實現了晶錠籽晶剝離、定位邊處理、端面處理、異型晶體切割，襯底邊緣修復等工藝延展，已完成18家碳化矽客戶的代工和打樣。同時晟光矽研以碳化矽的應用為起點，不斷拓寬業務領域，已經延伸至氮化鎵，超寬禁帶半導體氧化鎵、金剛石，陶瓷複合基板，航空航天軍工武器等新領域的客戶服務。附