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晶圓級封裝(WLCSP) & 倒片封裝(Flip-Chip)
倒片是什麼
受電子產品的小、輕、薄的驅動,封裝領域也是不斷開發出新的封裝type。上一章就有說到CSP封裝就是比較革命性的產品,Size是裸晶片的1。2倍甚至同等大小,尤其隨著移動電子的興起,這種裸晶片封裝(Wafer Level CSP)封裝已經是最小最省錢的封裝方式了,雖然前期需要RDL的光罩費用,但是它省去了Leadframe的費用,直接solder bump焊接到主機板上即可。
CSP(Chip-Scale or Chipe-Size Package)的concept起源於1990s,follow的是IPC/JEDEC J-STD-012標準,它主要應用於Low pin count的EEPROMs、ASICs 以及microprocessors (MCU)等,尤其當Wafer越大而Die又越小的時候,其成本會更有優勢。
CSP封裝主要的步驟為: 把die mount到epoxy interposer上,再用wire bond (gold or Al)將PAD和基板連線起來,第三步用Molding Plastic封裝保護Die和Wire,最後再將Solder ball貼到Interposer底部。
當然上面的wire bond會讓封裝比起die size還要大一點。而且從die到lead frame上的導線還有連線阻抗的,後來發展到用bump代替wire bond,所以就發展到Flip chip代替Wire bond封裝,這樣就節省了wire bond的空間了,所以就可以做到Die幾乎等size的package了。
那說到倒片封裝(FC: Flip-Chip),自然就要講到這個bump了,不可能把die切割了再去長這個bump吧,所以必須在Wafer還沒切割之前就做完這個process,所以就叫做Wafer Level CSP封裝了 (WLCSP)。
Flip-Chip封裝主要的三個步驟,Die上長bumps,臉朝下把長好球的die貼倒貼到襯底或者基板上,然後填充(underfilling)。
WLCSP現在已經是封裝技術的主流,主要有兩種,一種是直接BOP (Bump On Pad),還有一種是RDL (Redistribution Layer)。BOP技術還需要根據是否需要Polymer做re-passivation,再分為BON(Bump on SiN)和BOR (Bump on Repassivation)。BOP廣泛應用於Analog/Power封裝,它由於電流是直接垂直流過,沒有橫向RDL,所以對於功率器件封裝很有優勢,Cost也很低,但是它的Pin count比較有限,所以才發展到RDL+Bump。BOP是直接把UBM/Bump錨在Top Metal的PAD上,而RDL+Bump是用Polymer (Polyimide或PBO) 隔離並佈線並且把Bump與device surface隔開。
再簡單講一下RDL+Bump+銅柱的工藝流程吧,和FAB工藝差不多吧,四層光罩即可。RDL之間的dielectric用Polyimide隔離。Metal可以用電鍍長上去(Seed用Sputter)。
成型之後的RDL+Bump就是如下圖的樣子:
最早的WLCSP是Fan-In的,意思就是bump全部長在die上,而die和Pad的連線主要就是靠RDL的Metal Line來連線的。與之對應的就是Fan-Out的WLCSP封裝,這就是把bump長到chip外面去了 (1。2倍),面積大點,bump的壓力不會對晶片造成損傷。
講solder ball之前,還是總結一下Flip-Chip和WLCSP之間到底區別是什麼?Flip-chip一般還是需要襯底的,只是它透過solder ball倒裝貼上去的(代替Wire bond)而已,而WLCSP是把長好的球做好之後直接貼到PCB板上去。
好了,不管是Flip-Chip還是WLCSP都需要一個東西叫做Solder Ball (錫球),那接下來該講解Solder Ball了,這些Bump是怎麼長上去的。
先講講為啥用錫球?那就要回答一個問題,Solder Ball的技術要求是什麼?
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