中國是全球最大的晶片消費市場，但因為美國禁止所有使用了美技術和裝置的企業向中國市場出貨，用於生產晶片的高階光刻機被限制進入中國。幾乎每隔一陣子，事關全球高階光刻機能否被中國引進的政策，都會成為新聞熱點。

正如知名硬科技投資人蔡洪平所言：“從半導體研究的第一天起，就是全球化的，沒有一個國家可以包圓（整個產業鏈），美國也不行。”所以，強如美國，也無法生產出頂尖光刻機，只能透過耍流氓的手段，對別國進行限制。

而相對美中德日這樣的大國，荷蘭是一個不折不扣的小國，但其生產高階光刻機的本土企業ASML，卻在半導體行業內坐擁崇高地位。這家坐落於荷蘭南部小城維爾德霍芬的科技公司，佔據全球高階光刻機市場80%以上的份額。從1984年在板房創立，到2009年佔據行業龍頭，只用了31年。

理解ASML的崛起，或者說理解荷蘭如何培育出ASML，對於解決當前中國的卡脖子難題，應該有一定價值。

光刻機到底比原子彈難在哪？

因為這兩年卡脖子問題十分突出，越來越多的普通中國人都知道了光刻機這個東西。但聽過光刻機這個詞，不代表真正瞭解它。很多人說，當年咱們那麼窮，都造出了原子彈，現在經濟狀況好了很多，難道還怕造不出光刻機？持有類似心態的人，以董明珠為代表，她曾放出豪言，要拿500億進軍半導體領域。

當前，全球最先進的EUV光刻機售價高達1。2億歐，價格堪比一架波音737客機。2024年量產的新一代High-NA EUV光刻機，預計售價將在3-3。5億歐之間。EUV光刻機的累積研發投入超過百億歐元，半導體行業玩家的門檻是1000億元，並且需要不斷投入才行。脫口而出500億解決問題，暴露出當事人對這個行業的陌生。

原子彈和光刻機都很難造，二者的關鍵區別也許只有一條，那就是原子彈造出後，研究專案也就結束了；而光刻機造出後，專案才剛剛開始，企業必須緊跟需求，持續最佳化效能的同時降低成本，屬於典型的“既要又要”。

有投資人測算過，如果按照造光刻機的效率來造原子彈，一顆原子彈的價格只要10萬人民幣。

簡言之，原子彈是有沒有的問題，光刻機則是好不好的問題，分屬兩個維度。

對於臺積電、三星或中芯國際來說，企業投資數十億美元建立生產線，最怕的就是裝置故障導致停產，一旦停產，損失極大。所以，這要求光刻機必須保持7x24小時的絕對穩定性。這就必須依靠商業方式，不斷地保持高利潤-高研發投入-持續迭代，從而形成一個具有正反饋效應的迴圈。

一臺EUV光刻機重達180噸，超過10萬個零件，需要40個集裝箱運輸，集合了光學、有機化學、儀器儀表、機械裝置、自動化、影象識別等多行業的頂級技術，僅安裝除錯就要超過一年時間，每年停修時間不超過3%。

EUV光刻機使用的反射鏡片製造工藝更是極其複雜，為了確保光線在真空中穿過透鏡時不丟失、不變形，需要的技術精度相當於在北京和上海之間鋪一條鐵鏈，鐵軌起伏不超過1毫米。而這些反射鏡成像精度之高，相當於我們在地球上拿個手電照到月球，光斑不超過一枚硬幣大小。

正是因為光刻機具有超強的穩定性，所以，今天上海先進半導體工廠內，還有一臺30年前進口的ASML光刻機依然在晝夜不停地工作。這是中國最早的一條5英寸晶片生產線，最初由荷蘭飛利浦公司與上海幾個國有半導體企業在1988年合資建立。

飛利浦不僅幫助中國大陸跟上國際半導體發展的步伐，對臺灣地區半導體行業的起步也影響甚大，這一點後面會提到。不過，要論這家工業巨擘對於光刻機行業的最大貢獻，還是要回到對ASML的哺育之恩。

背靠飛利浦，大樹底下好乘涼

按照最新資料（2022年12月9日），ASML市值為2424億美元，飛利浦僅為123。8億美元，連ASML的零頭都不及。更有意思的是，飛利浦持有ASML約5。8%的股份，折算下來140。6億美元，超過了自身市值。

但如果將時針撥回1984年，情況則截然不同。那一年，飛利浦屈就和荷蘭先進半導體材料公司（ASM）合作出資成立ASML，除了提供210萬美元的現金或裝置外，45位飛利浦Natlab的研發工程師也加盟ASML。

雖然有飛利浦Natlab的光環加持，但創立後的10年裡，公司都未曾盈利。成立之初，ASML的光刻機無人問津，唯一買過幾臺的是Elcoma，它是飛利浦半導體和材料事業部。幾年後，深陷泥沼的ASM創始人德爾·普拉多最終選擇了撤資，飛利浦承擔了ASM在合資企業中的股份和債務，並與ASML的銀行NMB合作，接受來自荷蘭和歐共體的研發捐贈。

《光刻巨人：ASML崛起之路》的作者瑞尼·雷吉梅克評價道：“ASML3年後還活著絕對是一個奇蹟。”顯然，ASML沒有在最初幾年倒下，與母公司飛利浦的輸血有直接關係，除了資金支援，飛利浦還在ASML開拓亞洲市場的關鍵時刻，把自己最優秀的工程師派去協助，以確保訂單不會消失。這對初創的ASML來說十分關鍵。

當然，飛利浦絕不是什麼商業投資領域的慈善家。在數十年的合作中，ASML和飛利浦之間也有過多次摩擦。但不容否認的是，飛利浦客觀上構建了一個持續運轉的共享創新網路。飛利浦在荷蘭每所大學都有耳目，與荷蘭幾乎每個工程或科學教授都有聯絡，一旦公司在大學教授的人際關係網裡發現人才，有需要就會進行招聘。當ASML組建之初招聘員工時，有大約300人提出申請，這令ASML管理層感到驚訝。

不僅對ASML，也對維爾德霍芬地區的高科技產業發展具有巨大的輻射和孵化作用。當地數十家高科技公司都直接或間接脫胎于飛利浦公司，但飛利浦並沒有強行將其變成旗下子公司，而是與其和諧發展，共同維護並呵護這個共享創新的模式。事實上，就連維爾德霍芬這座城市，也是依託飛利浦公司的成長而發展起來的。

飛利浦是荷蘭維爾德霍芬地區的高科技企業之根。製圖：牛媛媛、王天明

甚至，大名鼎鼎的臺積電在1987年創立時，也稱得上是飛利浦在中國臺灣下的蛋。當時，臺灣工研院和飛利浦創辦臺積電，飛利浦佔27。5%股份，是最大外部股東。飛利浦不僅毫無保留地把記憶體生產線開放給臺積電學習，還原封不動地把整條生產線搬到臺灣給臺積電。可以說，是飛利浦為臺積電打下了堅實的生產技術基礎，而張忠謀之於臺積電，主要是開創了一個新商業模式。

有趣的是，因為飛利浦的關係，ASML在1988年拿到了臺積電的17臺光刻機訂單，這讓1989年的ASML獲得了勉強盈利的結果。這也再次證明，飛利浦對早期ASML的重要性。

多年以後，ASML也秉承了飛利浦所青睞的共享創新理念。以2016年為例，ASML拿出了1。32億歐元用於支援其創新生態系統建設，其中80%用於企業的研發工作，20%用於資助大學和研究機構進行研發。

此外，ASML與全球700多家供應商展開合作，50%來自荷蘭本土，其餘大多來自歐盟和美國，85%的成本由供應商提供。如果沒有開放協同、共享共生的理念及其配套制度，是不可能做到這一點。當然，ASML也就不可能匯聚全球智慧，攻破看似不可逾越的技術難題，戴上工業製造皇冠。

攜手卡爾·蔡司，鍛造研發命運共同體

1988年，ASML陷入財政最低谷，也在此時，ASML利用尼康、佳能的冒進之舉，推出了它的翻身之作——PAS 5500光刻機。ASML現在的CEO範登布林克，那時還是首席架構師，他成功將PAS 5500推廣到了藍色巨人IBM面前，後者決定在紐約東菲什基爾建立新的晶片生產線。

ASML獲得IBM認可後，來自世界各地的訂單開始紛至沓來。但對ASML來說，一個新問題出現了，那就是面對源源不斷的訂單需求，為自己提供所有的投影物鏡和照明系統的核心供應商卡爾·蔡司公司，卻存在多項不確定性：質量不合格、產能不足、與競品合作。

質量、產能問題的背後，一是蔡司管理層並未真正認可ASML，相反蔡司更重視尼康的需求；二是蔡司管理層還在堅持人工打磨的方式，他們對公司內6名頂級技工的“金手指”十分引以為傲。對此，ASML拿著不合格的鏡頭，用事實讓蔡司高管低下了高貴的頭顱，同時，他們也抓住蔡司糟糕的財務狀況這一痛點，推動蔡司從“金手指”打磨過渡到自動化操作。

藉助干涉儀、機器人、離子束的刻蝕裝置、拋光筆等新技術新裝置，蔡司百年以來的老生產線被改造成了符合ASML要求的柔性生產線，最終交付的鏡頭品質和效率大幅提高。

光學系統是光刻機最核心的部分，負責利用光線，將設計好的圖紙打在晶圓表面，以便下一步在晶圓表面雕刻。上圖紫色部分為卡爾·蔡司為ASML提供的光學儀器。

讓德國人知錯就改後，ASML還要求蔡司只能給自己獨家供貨，兩者簽署一份契約，ASML在蔡司半導體光學部門（SMT）擁有24。9%的股權。由於雙方命運極為緊密地聯絡在了一起，所以當1994年時任蔡司CEO利希滕貝格聽到ASML鉅額訂單的訊息時，他選擇賭了一把，砍掉了部分業務部門，不僅按要求改造生產線，還入股了ASML，並以借東風的方式，一掃財報連年虧損的陰霾。

到今天，ASML和蔡司還在定期交換研發工程師和科學家，確保從技術、股權甚至企業文化上進行共享。ASML製造的光刻裝置總成本中，有將近30%購自卡爾·蔡司（2018年為28。3%，2017年為26。6%，2016年為27。6%）。而蔡司在光學研發上所取得的無與倫比的成就，也在不斷幫助ASML突破一個又一個極限。

這是一個相互成就的故事，但如果沒有ASML堅持高標準來倒逼包括蔡司在內的供應商不斷進行技術升級，光刻機行業的創新步伐就不會這麼快；此外，透過交叉持股的方式，最大限度確保了彼此的同進退，也證明了金融創新在尖端製造業中的重要性。

擁抱技術聯盟，戴上工業製造皇冠

1995年，ASML在阿姆斯特丹和納斯達克交易所同時上市，一時間，訂單、資金都不再是企業發展的障礙，如何將領頭羊尼康挑落馬下，成為ASML管理層思考的重點。

上世紀90年代中葉，光刻機如果想繼續遵循摩爾定律，跨越晶片精度上的限制，就必須讓光刻機內的光源從DUV變成EUV。為了挑戰這一在當時如外星科技般的技術難題，英特爾在1997年說服克林頓內閣，以公司形式發起了EUV LLC合作組織。

這個組織由英特爾和美國能源部牽頭，不僅包括美國三大國家實驗室，也匯聚了當時如日中天的摩托羅拉和AMD。同時，英特爾還力邀ASML和尼康加入，這是因為80年代還縱橫捭闔的美國老牌光刻公司Perkin-Elmer和GCA，到90年代大勢已去。

不過，英特爾此舉受到美國政府的阻撓，因為後者捨不得讓外國公司分享美國最前沿的技術。對此，ASML展示出了驚人的技術前瞻性，遠比尼康積極地擠進EUV LLC。ASML在美國進行強力遊說，開出了讓美國政府很難拒絕的條件——由ASML出資在美國建工廠和研發中心，並保證55%的原材料都從美國採購，最終得到了加盟資格。

這一決定不僅確保了ASML可以獲得EUV LLC的全部技術專利，還確保了自己最大的競爭對手尼康，徹底被排除在競爭之外。實際上，2000年的全球光刻機市場，尼康依然是當之無愧的老大，佔據了近7成市場份額，但到2009年即被ASML超過。此後，因為光刻機進入EUV時代，尼康只能在中低端市場刷存在感，早已看不到ASML的背影。

從1997年到2003年，6 年間EUV LLC的科學家發表了幾百篇論文，成功驗證了 EUV光刻機的可行性，之後便宣佈聯盟解散。2006年，在ASML實驗室裡出現了EUV的原型機，四年後的2010年，在ASML手中誕生的人類第一臺EUV工程樣機：NXE 3100。

2012年，因為研發投入需要每年10億歐元，ASML請英特爾、三星和臺積電入股，希望大家共同承擔這個人類的偉大工程。2015年，可量產的樣機發布。雖然售價高達1。2億美元一臺，但還是收到雪片一樣多的訂單。排隊等交貨，都要等好幾年。2018年，中芯國際曾預訂過一臺EUV光刻機，因為美國技術封鎖，該計劃已經被暫停。

ASML在1997年成功加入EUV LLC，2012年吸引英特爾等客戶投資自己，可謂帶來了兩大後果：一是憑藉EUV甩掉了競爭對手尼康，二是加強了與美國捆綁，因為政治對抗失去中國市場。對於ASML來說，這兩者都是難以預料的，它既不能確保自己選擇的技術路徑一定成功，也不能左右國際政治博弈的大局。

但有一點是可以確定的，那就是如果ASML不加入英特爾和美國政府主導的技術聯盟，就不可能獲得後來至高無上的行業地位；反過來，即使強如美德日，在今天如果少了ASML、臺積電、三星，也都無法單獨實現晶片產業的閉環。

這一點，當然也適用於中國。

對中國半導體創新的幾點啟迪

對中國科技企業而言，ASML和它所在的荷蘭存在很多獨特性。但平心而論，這種獨特性不在於當年荷蘭比今天中國擁有多少優勢，而在於ASML能夠將可調動的優勢發揮到極致。

今天，中國擁有全球最大的單一消費市場，從政府到企業，也都雄心勃勃地試圖征服半導體高地。這些都是十分珍貴的優勢，但是，我們也需要觀照他人、深刻反思自己的不足，就ASML的案例，至少可以給我們以下幾點啟迪：

第一，必須儘快扭轉製造業供應鏈外流的趨勢。

從ASML的經歷來看，供應鏈就是它的生命線，更是它的創新線。ASML對蔡司的技術規範和提升，在過去幾十年裡，也大量發生在外資企業和沿海工廠之間。最典型的就是蘋果供應鏈，2008年的時候，中國大陸企業在蘋果供應鏈中只佔了3。6%的價值比重，到了2018年，這一資料已經提升到25。4%，資料背後是中國供應鏈企業的集體飛躍。

今年前11個月，越南進出口商品總金額累計已達到6738億美元，同比增長11。8%

甚至，中國在融入全球供應鏈的過程中，還打造出自己的手機品牌，OPPO、vivo、華為、小米等等，都享受了中國企業融入全球供應鏈後的多方面溢位效應。要知道，飛利浦最早的光刻機技術，就是對美國企業的跟隨和模仿，而ASML擊敗尼康，也花了20多年。它早期成功的標誌，就是成為IBM的供應商。

因此，當前科技產業供應鏈的外流需要引起足夠的重視，必須注意到越南的進出口資料和印度的燈塔工廠數量的增長勢頭，這些都是再明顯不過的訊號。守住這些供應鏈，我們的半導體行業就有突破的希望。

第二，應該珍視類似飛利浦這樣的生態型龍頭企業。

生態型龍頭企業和一般龍頭企業不同，它們往往是產學研一體化的組織者、統籌者，對中小科技企業的孵化功能，是一般龍頭企業和創業孵化器所不能比的。對於飛利浦來說，並沒有一個明確計劃去孕育一家ASML，但它在發展中天然會去搭建一個創新生態，沐浴在這個生態下的中小微企業，自然而然得到了生態中的養分。

在矽谷、長三角以及粵港澳大灣區，都存在一批這樣的生態型龍頭企業，透過股權、知識和人才網路等形式搭建一些區域性的共享創新生態。深圳、杭州之所以敢喊出建設“東方矽谷”的口號，底氣就在於已經培育了騰訊、阿里這樣的生態型龍頭企業。

正如經濟學家樊綱在近期的一次演講中提到，大企業是當前經濟發展、產業進步的決定性力量，中國的大企業不是多了，而是太少了。他領銜的研究團隊釋出了《共享創新指數報告》，指出全球經濟產業組織的底層邏輯正發生顛覆性改變，科技競爭正從企業、城市之間的競爭，走向生態之間、城市群之間的競爭。在中國，兩個三角洲擁有明顯高於其它地方的創新水準，依賴的正是高密度、高效能的創新網路。

第三，需要意識到資本市場對半導體產業的重要性。

ASML所在的歐洲，從荷蘭政府到歐共體和後來的歐盟，都比美國更喜歡給企業補貼，ASML當然是受益者之一。但ASML真正解決資金問題，是透過在歐洲和美國的同時上市，連線全球資本市場後，企業發展很快進入了快車道。這一點，2010-2018年間上市的中概股企業一定頗有體會。

相對而言，國家資本擁有更長遠的眼光，但民間資本更注重投資回報中的正反饋效應，在瞬息萬變的市場，民間資本能夠更好地支援企業做出抉擇。畢竟，沒有一家企業事前知曉哪一條技術路徑，哪一種商業模式可以百分百獲得成功。所以，高頻高效的反饋機制對於企業十分關鍵，而資本市場的訊號往往是最快速、最清晰的。

過去十幾年裡，從網際網路科技到新能源汽車，一批中國企業借力資本市場，歷經重重困難，最終殺出一條血路成為市場寵兒。這些有國際競爭力、影響力的科技企業，應被視為“國家戰略型企業”。未來，中國必須持續擴大戰略型企業的矩陣，而半導體企業一定會以主角的身份，位列陣中。