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臺階測量能力的儀器發展隨著目前市場上技術發展，接觸式臺階儀測量已經無法滿足部分行業應用，如對精度的要求提高，傳統臺階儀測量精度對一些奈米級、亞奈米級高精度的測量需求已經無法滿足...