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在電場的作用下，Ar氣電離成正離子和電子，靶上加有一定的負高壓，從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離機率增大，在陰極附近形成高密度的等離子體，Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面，以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來的原子遵循動...

其中美國、日本跨國集團產業鏈完整，囊括金屬提純、靶材製造、濺射鍍膜和終端應用各個環節，具備規模化生產能力，在掌握先進技術以後實施壟斷和封鎖，主導著技術革新和產業發展，在中高階半導體濺射靶材領域優勢明顯...

銥鋨合金因其硬度高，還可用於製作筆尖和筆尖材料...