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鉻濺射靶材鉻是一種鋼灰色、有光澤、堅硬且易碎的金屬，需要高度拋光以防止失去光澤，並具有高熔點...

在電場的作用下，Ar氣電離成正離子和電子，靶上加有一定的負高壓，從靶極發出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離機率增大，在陰極附近形成高密度的等離子體，Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面，以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來的原子遵循動...